晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E5AN-HAA3BFMD-500手冊(cè)。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無(wú)滑石粉）。
檢測(cè)方式：反射型。
檢測(cè)距離：紅外光0~3mm。
動(dòng)作模式：有晶圓片托架時(shí)ON。
導(dǎo)線長(zhǎng)：2mE5AN-HAA3BFMD-500E32-DC200E種類：標(biāo)準(zhǔn)型；標(biāo)準(zhǔn)，
特長(zhǎng)：M3螺釘（小型），
彎曲半徑(mm):R10。
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)物體(小檢測(cè)物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元激光光束可變！
配合工件可選擇光點(diǎn)·區(qū)域3 種變化的
光學(xué)結(jié)構(gòu)
可綽綽有余的檢測(cè)長(zhǎng)距離1000mm
(擴(kuò)散反射型)E5AN-HAA3BFMD-500手冊(cè)。
裝載焦點(diǎn)可變構(gòu)造&光軸可調(diào)構(gòu)造。
現(xiàn)場(chǎng)裝備了檢測(cè)時(shí)易于識(shí)別的發(fā)光式大型動(dòng)作顯示燈。
傳感器探頭部通過接插件化使連接更為簡(jiǎn)單。E32-D21種類：標(biāo)準(zhǔn)型；耐曲折，
特長(zhǎng)：M3螺釘（小型），
彎曲半徑(mm):B；R4。
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)物體(小檢測(cè)物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元檢測(cè)方式:擴(kuò)散反射型.
檢測(cè)距離:100mm.
用途：側(cè)視式，
小型;薄型探頭省空間
帶有能緊密安裝的干擾驅(qū)動(dòng)用)E5AN-HAA3BFMD-500手冊(cè)。
輔助輸出：4點(diǎn)(輔助輸出1、2公共通用，輔助輸出3、4公共通用)。
電源電壓：AC/DC24V。
端子形狀：螺釘端子臺(tái)型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱斷線、SSR故障檢測(cè)功能：2點(diǎn)(三相加熱器用)。
通信：RS-485。
事件輸入：2點(diǎn)。
遠(yuǎn)程SP輸入：--。
傳送輸出：--。
清晰易讀的大屏白光PV顯示。從選型到設(shè)定與操作均簡(jiǎn)單易用。
完整的I/O容量、功能和性能范圍。適合更多應(yīng)用。
E5AC的白光LCDPV顯示屏高度約為25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信轉(zhuǎn)換線（另售）連接至電腦上來(lái)建立控制器而不需要為電源安裝電線。
輕松安裝CX-Thermo（另售）。
50ms高速采樣周期。
型號(hào)可配備多4點(diǎn)輔助輸出，6點(diǎn)事件輸入，
1點(diǎn)傳送輸出和遠(yuǎn)程SP輸入，適合一系列廣泛的應(yīng)用。
主體短小，厚度僅為60mm。
易于使用未編程通信連接到可編程邏輯控制器(PLC)。E5AN-HAA3BFMD-500使用說明書。
使用部件通信將溫控器互相連接。
新型位置比例控制型號(hào)號(hào)使您還可以控制閥門E5AN-HAA3BFMD-500使用說明書。E32-D21B種類：標(biāo)準(zhǔn)型；耐曲折，
特長(zhǎng)：M4螺釘（小型），
彎曲半徑(mm):B；R4。
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)物體(小檢測(cè)物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元